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什么是半导体应变计?

时间:2023/3/13 10:19:58 作者:徽力智 点击:

半导体应变计是利用硅、绪、梯化钢、磷化综等半导体材料制成的,具有灵敏系数大(比丝式应变计、箱式应变计大几十倍,因而输出的信号大);横向效应系数小;机械滞后小,本身的体积小,便千制作小型传感器等优点。

 


由于柱式及同类型结构的传感器元件横向(泊松比)和轴向的应变不平衡,导致了桥路输出的非线性误差,而且由千负载之间的非线性,材料的非线性,横向负载的非线性误差,严重影响柱式和类似结构传感器的精度,因此,我们通过对桥路的修改,进行线性补偿,满足生产高精度传感器的需求。

为了补偿传感器的线性精度,我们通过调整实际桥路的输入电压来实现线性补偿。通常在柱式弹性体的应变区域,沿着轴心对称地连接两片半导体应变计,例如线性补偿电阻RL(如图)在供电桥路上,将两片电阻应变计与相当于RL/2阻值的电阻对称连接(如图)。

 

柱式及同类型结构的非线性误差用图像表示出来是一个递减的抛物线。载增加的同时,输出将出现递减的趋势。也就是说,在负通过线性补偿,输出的递减和输入电压的增加将相 互补偿。从而,使实际的输出成为一条连续的线性直线。



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